随着环保政策的逐步收紧，环保设施安全问题已经成为了大部分工业企业面对的一个重要风险，特别是废气VOCs装置系统的防爆安全，如RTO等焚烧装置。RTO在正常工况下不易发生火灾、爆炸事故。但由于废气成分复杂多变、浓度波动大，易造成焚烧炉运行稳定性较差，存在一定的安全隐患。目前的挥发性有机污染物的治理包括破坏性，非破坏性方法，及这两种方法的组合。

破坏性的方法包括燃烧、生物氧化、热氧化、光催化氧化，低温等离子体及其集成的技术，主要是由化学或生化反应，用光，热，微生物和催化剂将VOCs转化成CO2和H2O等无毒无机小分子化合物。

非破坏性法，即回收法，主要是碳吸附、吸收、冷凝和膜分离技术，通过物理方法，控制温度，压力或用选择性渗透膜和选择性吸附剂等来富集和分离挥发性有机化合物。

传统的挥发性废气处理常用吸收、吸附法去除，燃烧去除等，在最近几年中，半导体光催化剂的技术体，低温等离子得到了迅速发展。